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基準(zhǔn)級(jí)微壓活塞壓力計(jì)，提供微壓溯源性
優(yōu)異的測(cè)量不確定度 支持表壓、絕壓和絕差壓測(cè)量 FPG8601支持三種不同的測(cè)量模式： · 表壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測(cè)試的“低”側(cè)連接在一起，并和環(huán)境大氣壓相同。 · 絕壓模式：FPG8601的下方壓力室被抽成真空，并用真空計(jì)測(cè)量殘留真空。這種模式用于校準(zhǔn)密封絕壓的DUT。 · 絕差壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測(cè)試的“低”測(cè)連接在一起并抽成真空。這種模式用于校準(zhǔn)相對(duì)于真空的差壓被檢對(duì)象。 此外，F(xiàn)PG8601沒有特殊環(huán)境要求，可安裝在2m長的高質(zhì)量實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。壓力控制器常常安裝在試驗(yàn)臺(tái)下方。當(dāng)需要使用絕壓功能時(shí)，需要考慮真空泵的位置。如果需要，可以隨系統(tǒng)提供定制的安裝臺(tái)。其工作環(huán)境要求為典型的高端計(jì)量實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
工作原理 為了避免通過在汽缸中旋轉(zhuǎn)活塞來確定其中心的不穩(wěn)定性和機(jī)械方面的復(fù)雜性，F(xiàn)PG8601活塞是通過缸體-活塞縫隙中獨(dú)立流通的潤滑氣壓來確定中心的。縫隙呈圓錐形，收縮面對(duì)稱朝向活塞末端。缸體－活塞縫隙為1～6 mm，潤滑壓力比參考?jí)毫Υ?0 kPa，保證流入到測(cè)量室的氣流非常小（低于總量的1 sccm）。活塞兩端的壓力通過一個(gè)萬向節(jié)連接系統(tǒng)傳遞到壓力傳感器，該系統(tǒng)將活塞保持在其重心。連接系統(tǒng)的通路也用來提供缸體－活塞潤滑氣。壓力傳感器被封閉在一個(gè)密封室內(nèi)，潤滑氣通過該密封室流通。壓力傳感器密封室的設(shè)計(jì)有利于保持恒溫，并且潤滑氣的相對(duì)濕度被保持在40～70 %之間，從而使壓力傳感器的性能達(dá)到最佳。
優(yōu)異的測(cè)量不確定度
全自動(dòng)的力平衡控制 控制器中有幾個(gè)具有不同導(dǎo)電系數(shù)的節(jié)流閥，并自動(dòng)選擇與相應(yīng)的壓力量程相匹配的一個(gè)。有2個(gè)質(zhì)量流量控制器（MFC），其中1個(gè)用于壓力粗調(diào)，高壓手持?jǐn)?shù)字壓力計(jì)，另1個(gè)用于壓力精調(diào)，電纜側(cè)壓力計(jì)算，MFC并聯(lián)用于調(diào)整反饋環(huán)路中的流量。根據(jù)壓力設(shè)置點(diǎn)和 FPG8601壓力測(cè)量值之差進(jìn)行控制。有一個(gè)兩級(jí)的壓力調(diào)節(jié)器，數(shù)字式壓力計(jì)，其第二級(jí)以節(jié)流閥的下游側(cè)為參考，它為質(zhì)量流量控制器提供了一個(gè)穩(wěn)定的輸入壓力。FPG8601 包括一個(gè)基于Windows的系統(tǒng)控制器。系統(tǒng)控制器與FPG8601硬件及被測(cè)設(shè)備進(jìn)行通信。FPG Tools軟件監(jiān)測(cè)和控制FPG8601的工作，并支持多種高級(jí)功能，包括全自動(dòng)工作、無值守測(cè)試程序并采集被測(cè)設(shè)備數(shù)據(jù)。所有的FPG8601和被測(cè)設(shè)備的數(shù)據(jù)均被記錄為逗號(hào)分隔的數(shù)據(jù)文件，可方便地下載至其它應(yīng)用程序進(jìn)行分析。 以下為FPG Tools軟件的部分功能： · 改變測(cè)量模式（表壓/絕壓） · 壓力傳感器自動(dòng)調(diào)零，并自動(dòng)設(shè)置跨距 · 調(diào)整數(shù)據(jù)點(diǎn)平均時(shí)間 · 工作狀態(tài)發(fā)生過大變化時(shí)自動(dòng)報(bào)警 · 在低絕壓模式下進(jìn)行熱蒸發(fā)修正 · 被測(cè)設(shè)備設(shè)置 · 測(cè)試程序定義和儲(chǔ)存 · 全自動(dòng)測(cè)試 · 實(shí)時(shí)繪制測(cè)試結(jié)果
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