氧化鋁電容式濕度計測量結構原理：

　　氧化鋁電容式濕度計形式繁多例如便攜式電池操作的、帶微處理器可進行數據處理的、顯示多參數的等等。但其本質是一個電容器通過將一薄層孔狀的氧化鋁沉積在導電的基體上然后再在氧化鋁薄層上涂敷一層薄金。導電基體和金薄層就形成電容器的電極。水蒸氣穿過金薄層被孔狀的氧化鋁吸收這個電容器的阻抗與水分子個數即水汽分壓成一定的比例。通過測量該電容器的阻抗或電容可獲得水汽分壓通過換算可得到露點值。位于鋁和金電極之間的氧化鋁薄層在10-3Pa(約相當于-110℃露點)到水的飽和汽壓的整個范圍內都有響應。由于其對水的強烈的親和力再加上水的較大的介電常數使得氧化鋁電容式濕度計對水有高度的選擇性而對其它普通氣體及有機氣和液體沒有響應。    

　　在中高濕范圍其準確度一般為±1~±2℃低濕范圍比如-100℃時準確度一般為±2~±3℃。氧化鋁電容式濕度計傳感器不與烴類氣體、CO、CO2、含氯氟烴氣體發生反應但對于不同的氣體其漂移不同。對于某些腐蝕性氣體，例如氨、SO3以及氯則會損壞傳感器因此應盡量避免。

　　氧化鋁電容式濕度計使用注意事項：

　　氧化鋁電容式濕度計通常的測量范圍為-110℃~+20℃。當被測露點較高時，會使得氧化鋁電容式濕度計產生較大的漂移。同時還需注意溫度系數。由于其對水汽分壓產生響應因此應注意測量時氣體總壓的變化。應避免灰塵、油污測量時氣體流量較大一般為3~5（L/min），德圖紅外熱像儀甚至更大。

　　氧化鋁電容式濕度計優缺點：

　　優點——較寬的響應范圍從1μL/L（ppmv）到80%RH可以遠程安裝可以現場使用相對穩定響應較快溫度系數較小與流量變化無關對水分有較高的選擇性可以在較寬的溫度和壓力范圍內使用日常維護量較小體積小。

　　缺點——該方法是間接測量在較高的溫度下操作或某些氣體會引起漂移受腐蝕性氣體的影響必須定期校準以克服老化、滯后及污染。由于響應值非線性因此需對每只傳感器進行校準不能通用。