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技術資料

電源要求

FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，最大60 VA 
VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，最大70 VA

正常工作溫度范圍

20～26℃

環境溫度穩定性

0.1℃/每分鐘，最大變化率

重量

FPG8601平臺：30 kg (66 lb)
FPG8601終端：2 kg (4.4 lb)

VLPC壓力控制器

41 kg (90.4 lb)

尺寸

FPG8601平臺：53 cm高×36 cm寬×35 cm深 
FPG8601終端：12 cm高×15 cm寬×20 cm深
VLPC壓力控制器：31 cm高×51 cm寬×53 cm深

系統控制器

運行FPG Tools，Windows操作系統，RS232和IEEE-488接口，用于采集FPG和DUT的數據

全壓力量程

0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓

測試介質

氮氣或空氣

模式轉換時間

絕壓至表壓模式：30分鐘
表壓至絕壓模式：1小時

振動

與傳統的活塞式壓力計相同，真空泵必須用軟管連接

壓力供給

活塞－套筒潤滑氣(FPG8601)：700～800 kPa，清潔、干燥的氮氣或空氣

FPG參考真空（絕壓模式）：渦輪泵：典型值為378 m3/h，極限壓力為8.10-6 Pa

回轉式葉片泵：16.5 m3/h，極限壓力為0.2 Pa

VLPC壓力源：700～800 kPa，清潔、干燥的氮氣

VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa

驅動氣（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa壓縮空氣

壓力連接

測試高（FPG8601）：KF16
測試低（FPG8601）：KF16
真空參考（FPG8601）：KF25
真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F
驅動/潤滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F
壓力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F
驅動（VLPC）：1/8 in. NPT F
真空（VLPC）：KF25

壓力測量

全量程

0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓

溫度影響

監測儀器溫度，并在溫度變化的速率和大小對性能影響明顯時，發出報警。

分辨力

標準：0.010 Pa
高分辨力選件：0.001 Pa

典型壓力測量
不確定度

標準：
表壓、絕差壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm讀數)
絕壓模式：± (0.025 Pa + 30 ppm讀數)

高分辨力選件：
表壓、絕差壓模式：± (0.005 Pa + 30 ppm讀數)
絕壓模式：± (0.008 Pa + 30 ppm讀數)

絕對模式下的典型殘留真空

用渦輪分子泵：0.04～0.1 Pa
用回轉式葉片泵：0.3 Pa～0.4 Pa

壓力控制

控制范圍（Pa）

表壓模式：5個交疊的控制范圍
最小壓力：0
最小受控壓力：0.1 Pa

絕壓模式：5個交疊的控制范圍
最小壓力：0.4～1 Pa
最小受控壓力：2 Pa

控制精度

標準：
表壓模式：± (0.020 Pa + 100 ppm量程)
絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm量程)

高分辨力選件：
表壓模式：± (0.005 Pa + 60 ppm量程)
絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm量程)

注：控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時的常數更小。

標稱測試容積

表壓模式：最高20 cc/側（高和低） 
絕壓模式：最高500 cc/側（高和低） 
壓力穩定時間：1～2分鐘，取決于測試容積

活塞模塊

標稱尺寸

直徑：35 mm
面積：10 cm2

活塞材料

碳化鎢

套筒材料

碳化鎢

安裝系統

非旋轉，獨立自定心，中央供氣，潤滑壓力

活塞－套筒間隙

對稱圓錐形間隙，雙錐形，在中央潤滑點為6微米，在活塞末端為1微米

潤滑氣體質量

清潔、干燥的氨氣或空氣，內部調整為40～70 %相對濕度

潤滑氣體壓力

表壓模式：40 kPa表壓
絕壓模式：40 kPa絕壓 
潤滑氣流量：< 1 sccm至高和低壓力室

輔助測量

活塞－缸體溫度(℃)

范圍：0～40 
分辨率：0.01
不確定度：± 0.1

殘留真空(Pa)

范圍：0～13
分辨率：0.001
不確定度：± (0.5 %讀數+ 5 MPa)

監控測量

潤滑氣體溫度(℃)

范圍：0～40
分辨率：0.1
不確定度：± 0.2

潤滑氣壓力(kPa)

范圍：0～200絕壓 
分辨率：0.001
不確定度：± 0.1

潤滑氣濕度(%RH)

范圍：5～95
分辨率：1
不確定度：± 10

型號

描述

FPG8601-SYS

具有標準分辨率的微壓塞式壓力計系統

配件

描述

FPG8601-MODE-V-REF

真空參考模式

MS-8601-2

2.0kg砝碼套件，帶掛鉤

BENCH-8601-ABS

FPG8601工作臺

FPG8601-RES-HIGH

高分辨率(1 mPa)